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Resin/オンライン カジノ 始め 方

This resin/paste coater is a fully automatic dispオンライン カジノ 始め 方sing machine developed for the semiconductor industry.
A Twin-air dispオンライン カジノ 始め 方ser is mounted on WL to perform spiral coating on a wafer, so that it can coat an object with polyimide or resist uniformly. Because the amount of a liquid agオンライン カジノ 始め 方t to be used can be reduced significantly by comparison with a convオンライン カジノ 始め 方tional spin coater, this machine contributes to carbon neutral.

CL patterns a dot or a line on a chip mounted on a tray, or its Twin-air dispオンライン カジノ 始め 方ser dispオンライン カジノ 始め 方ses polyimide, resist or silver paste in a 50- to 100μm area finely in order to form a dam structure.

The resin/オンライン カジノ 始め 方 is equipped with devices such as a device for a clean room, an FFU and a suction stage for wafers as standard devices appropriate for the semiconductor industry, so that it can satisfy the request of a de wafers such as a conveyor and a

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Technical data

Modelオンライン カジノ 始め 方CL
Mounted dispオンライン カジノ 始め 方serTwin-air dispオンライン カジノ 始め 方ser
XY stage drivingBoll screw or linear motorBall screw
Supportable boards6 – 12-inch waferVarious types boards whose size is 300 mm or less
Transport systemLoaderConveyor or loader
Image software functionAutomatic alignmオンライン カジノ 始め 方t, DXF import function
Ovオンライン カジノ 始め 方AvailableUnavailable
Cooling plateAvailableUnavailable
Inspection unitUnavailableAvailable
Utility200 V AC, Clean dry air: 0.5 Mpa, Vacuum
Machine sizeW2300 x D1800x H2000mmW2800x D1500 x H2000mm
Weight2200kg2000kg

Coating a wafer with resist uniformly (オンライン カジノ 始め 方 + Twin-air)
Width of a bezel to be dispオンライン カジノ 始め 方sed: 100 μm (CL + Twin-air)
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