WL CL
레진 페이스트 코터

레진 페이스트 코터、반도체 산업용으로 개발된 완전 자동 オンライン カジノ 攻略 장치。

WL은 트윈 에어식 디스펜서를 탑재、웨이퍼에 나선 코팅을 적용하여、폴리이미드 및 레지스트를 균일하게 코팅할 수 있습니다。기존 스핀 코터에 비해、액제 사용량을 크게 줄일 수 있기 때문에、카본 중립에 기여합니다。6~12인치 웨이퍼를 수용할 수 있습니다。

CL은、트레이에 탑재된 칩에 도트나 라인을 패터닝하거나、댐 구조 형성을 목적으로、트윈 에어식 디스펜서、폴리이미드、레지스트、은 페이스트 등을 50~100um 정도로 미세 オンライン カジノ 攻略합니다。

레진 페이스트 코터、클린룸 사양、FFU、웨이퍼 대응 흡착 스테이지 등、반도체 산업에 적합한 사양을 표준으로 탑재、컨베이어나 로더 등의 웨이퍼 반송의 요구에도 オンライン カジノ 攻略합니다。

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WL

기술 데이터

형식WLCL
탑재 디스펜서트윈 에어식 디스펜서
XY 스테이지 구동볼 나사 or 리니어 모터볼 나사
オンライン カジノ 攻略한 기판6~12인치 웨이퍼300mm 이하의 각종 기판
반송 시스템로더컨베이어 or 로더
オンライン カジノ 攻略 소프트웨어 기능자동 정렬, DXF 가져오기 기능
오븐オンライン カジノ 攻略없음
쿨링 플레이트オンライン カジノ 攻略없음
검사 단위없음オンライン カジノ 攻略
유틸리티AC200V 、클린 드라이 에어: 0.5Mpa、진공
장치 크기W2300 x D1800x H2000mmW2800x D1500 x H2000mm
중량2200kg2000kg

   웨이퍼 상에 레지스트 균일 코팅(WL+트윈 에어)
    베젤 オンライン カジノ 攻略 폭 100μm(CL+트윈 에어)
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