WL CL
레진 페이스트 코터
레진 페이스트 코터、반도체 산업용으로 개발된 완전 자동 オンライン カジノ 攻略 장치。
WL은 트윈 에어식 디스펜서를 탑재、웨이퍼에 나선 코팅을 적용하여、폴리이미드 및 레지스트를 균일하게 코팅할 수 있습니다。기존 스핀 코터에 비해、액제 사용량을 크게 줄일 수 있기 때문에、카본 중립에 기여합니다。6~12인치 웨이퍼를 수용할 수 있습니다。
CL은、트레이에 탑재된 칩에 도트나 라인을 패터닝하거나、댐 구조 형성을 목적으로、트윈 에어식 디스펜서、폴리이미드、레지스트、은 페이스트 등을 50~100um 정도로 미세 オンライン カジノ 攻略합니다。
레진 페이스트 코터、클린룸 사양、FFU、웨이퍼 대응 흡착 스테이지 등、반도체 산업에 적합한 사양을 표준으로 탑재、컨베이어나 로더 등의 웨이퍼 반송의 요구에도 オンライン カジノ 攻略합니다。
기술 데이터
형식 | WL | CL |
탑재 디스펜서 | 트윈 에어식 디스펜서 | |
XY 스테이지 구동 | 볼 나사 or 리니어 모터 | 볼 나사 |
オンライン カジノ 攻略한 기판 | 6~12인치 웨이퍼 | 300mm 이하의 각종 기판 |
반송 시스템 | 로더 | 컨베이어 or 로더 |
オンライン カジノ 攻略 소프트웨어 기능 | 자동 정렬, DXF 가져오기 기능 | |
오븐 | オンライン カジノ 攻略 | 없음 |
쿨링 플레이트 | オンライン カジノ 攻略 | 없음 |
검사 단위 | 없음 | オンライン カジノ 攻略 |
유틸리티 | AC200V 、클린 드라이 에어: 0.5Mpa、진공 | |
장치 크기 | W2300 x D1800x H2000mm | W2800x D1500 x H2000mm |
중량 | 2200kg | 2000kg |