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고정세 도포 장치 카지노 게임 추천 시리즈는 반복 위치결정 정밀도 ±2μm 이하의 X-Y 스테이지를 탑재한 고정밀 사양으로 웨이퍼에의 패터닝 등 고화질 도포에 최적인 모델입니다.
트윈 에어식 디스페서(풀 펑션)를 표준 탑재하고 있어, 톱 뷰 카메라와 사이드 뷰 카메라에 의해, 조건출이나 모니터링, 검사 등을 용이하게 실시할 수 있기 때문에, 미세한 패터닝을 실현한다 수 있습니다.
작업 크기에 따라 3종류의 형식(카지노 게임 추천10, 카지노 게임 추천12, 카지노 게임 추천30)을 라인업하고 있으며, 카지노 게임 추천30은 8인치 웨이퍼에 대응하고 있으며, 자동 웨이퍼 반송 유닛과 접속하는 것도 가능합니다. 사양, FFU, 웨이퍼 대응 흡착 스테이지 등 반도체 업계에 적합한 옵션 사양도 충실합니다.
기술 데이터
형식 | 카지노 게임 추천10 | 카지노 게임 추천12 | 카지노 게임 추천30 |
탑재 디스펜서 | 트윈 에어식 디스펜서, 피에조 제트 디스펜서 | ||
XY 스트로크 | 100 x 100mm | 120 x 120mm | 300 x 300mm |
XY 최대 속도 | 50mm/s | ||
Z 최대 속도 | 50mm/s | ||
XYZ 반복 위치 결정 정확도 | ±2μm | ||
XYZ 구동 분해능 | 1μm | ||
유효 카지노 게임 추천 영역 | 100 x 100mm | 120 x 120mm | 300 x 300mm |
탑재 기기 | 상위 뷰 카메라, 레이저 변위계, 진공 흡착 스테이지, 연동 메커니즘 | ||
이미지 소프트웨어 기능 | 그리기 데이터 생성, 자동 정렬, DXF 가져오기 기능 | ||
선택 | 사이드 뷰 카메라, 노즐 세척 유닛, 노즐 팁 위치 검출 유닛, 진공 펌프, FFU | ||
자동 이송 유닛 | 대응 불가 | 대응 불가 | 대응 가능 |
전원 | 단상 100V x 1500W | 삼상 200V x 4kVA | |
공기원 | 클린 드라이 에어 0.5~0.7Mpa x 30NL/min | ||
장치 크기 | W600 x D600 x H1600mm | W600 x D600 x H1600mm | W900 x D1050 x H1600mm |
중량 | 250kg 이하 | 250kg 이하 | 1000kg 이하 |